四氯化硅是无色透明液体，纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色，有窒息性气味。常温常压下密度1.48，熔点-70℃，沸点57.6℃，沸点随着压力增高而增高。在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢。

四氯化硅物理性质

外观与性状：无色或淡黄色发烟液体，有刺激性气味，易潮解。

熔点(℃)：-70

相对密度（水=1）：1.48

沸点(℃)：57.6

相对蒸气密度（空气=1）：5.86

分子式：SiCl4

分子量：169.90

饱和蒸气压(kPa)：55.99(37.8℃)

溶解性：可混溶于苯、氯仿、石油醚等多数有机溶剂。

四氯化硅化学性质

受热或遇水分解放热，放出腐蚀性烟气。对很多金属尤其是潮湿空气存在下有腐蚀性。

四氯化硅在潮湿空气中水解而成硅酸或原硅酸和氯化氢，方程式如下：

SiCl4+3H2O====H2SiO3+4HCl 或SiCl4+4H2O====H4SiO4+4HCl